Focused Ion Beam Systeme

JIB-PS500i FIB-System

Produkt
Merkmale
Spezifikationen
Bilder
Info

JIB-PS500i FIB-System

Das von Grund auf neu designte Präparationssystem JIB-PS500i mit fokussiertem Gallium-Ionenstrahl (FIB) ermöglicht in noch nie dagewesener Einfachheit die Herstellung, höchstauflösende Abbildung und Analyse dünner TEM-Lamellen und Querschnitte. Grundlage bildet eine große, leicht zugängliche Probenkammer, die den Einbau sehr großer Proben erlaubt und gleichermaßen das Kippen von Proben auf über 90° ermöglicht. So können TEM-Proben einfach präpariert und direkt im STEM-Betrieb abgebildet und analysiert werden. Zu diesem Zweck wurden sowohl die Objektivlinse als auch die Detektoren für höchste Auflösung weiterentwickelt. Darüber hinaus wurden die JEOL-EDX-Detektoren in die neue, von JEOL-Rasterelektronenmikroskopen bekannte Nutzeroberfläche integriert, um möglichst effiziente und einfache Arbeitsabläufe zu ermöglichen. Auch die neue STEMPLING2-Lamellenpräparation zielt auf hohen Durchsatz und einfaches Handling ab: Zusammen mit dem vollintegrierten OmniProbe-Werkzeug (Oxford Instruments) können so automatisch zahlreiche Lamellen in Serie produziert werden.

Für schnelle Arbeitabläufe stehen zudem eine Gallium-Quelle mit hohem Probenstrom (bis 100nA) für maximale Abtragsraten und die bewährte In-Lens-Schottky-FEG (bis 500nA) für großflächige, schnelle Elementanalysen zur Verfügung.

Auch in puncto Bedienbarkeit setzt das FIB-System neue Maßstäbe. Die AVERT-Engine bietet Anwendern jederzeit ein 3D-Modell des Innenlebens der Kammer – dies ermöglicht maximalen Überblick und Sicherheit beim Arbeiten. Besitzer eines JEOL TEMs profitieren darüber hinaus vom neuen „TEM-Linkage“-System: Ein Doppel-Kipp-Steckaufsatz kann sowohl auf einen FIB-REM-Halter als auch auf einen TEM-Halter aufgesteckt werden. So können Lamellen nicht nur in beiden Mikroskopen in Transmission untersucht werden, sondern können auch zwischen den Systemen transferiert werden, ohne das TEM-Grid berühren zu müssen.

Merkmale

  • TEM-Linkage: Einfacher Transfer von TEM-Lamellen auf einem steckbaren Halteraufsatz für FIB-REM- und TEM-Halter
  • Hard- und software-integriertes JEOL-EDX-System
  • Automatische, sequentielle Lamellenpräparation mit STEMPLING2-System
  • Große Kammer und flexible Probenbühne mit Fahrweg von 130x130mm² und Probenkippung von -40 bis +93°
  • Höchstauflösende Bildgebung und Analyse selbst bei magnetischen oder isolierenden Materialien
  • Probenstrom ≥ 500 nA für extrem schnelle Analytik
  • In-lens Schottky Plus Feldemissions-Elektronenquelle und Doppel-Kondensorlinsen-System bieten höchste Stabilität und einen kontinuierlich regelbaren Strom
  • Gallium-Ionenquelle für hohen Probenabtrag (100nA) und sensitives Schlusspolieren bei niedrigen Spannungen (bis 0,5kV)
  • Neue Elektronendetektoren für maximale Detektionseffizienz. Der rückziehbare Rückstreuelektronendetektor kann selbst im gekippten Zustand (52°) eingefahren und genutzt werden.
  • Vollständige Integration des JEOL-EDX-Systems für maximalen Bedienkomfort und intuitive Berichterstellung aller aufgenommenen Messdaten (andere Hersteller ebenfalls kompatibel)
  • JEOL ZeroMag-Funktion für stufenlosen Übergang zwischen lichtoptischer und REM-Abbildung für einfachste Probennavigation
  • AVERT-Funktion für die Echtzeitüberwachung der Kammer samt 3D-Abbildung und Kollisionsschutz
  • Durch die optionale Probenschleuse können selbst große Proben schnell und sicher gewechselt werden
  • Zahlreiche Flansche für Zubehörsysteme wie Gasinjektionssysteme, Probenmanipulator, Probenschleuse, Kameras, EDX, EBSD, STEM, etc


Spezifikationen


REM

FIB

Quelle

In-Lens-Schottky-FEG

Gallium

Auflösung

0,7 nm (15 kV)
1,4 nm (1 kV)
1,0 nm (1 kV, BD-Modus)

3 nm (30 kV)

Vergrößerung

×10 bis 1.000.000 (Referenz: Polaroid)

×50 bis 300.000 (Referenz: Polaroid)

Beschleunigungs­spannung

0,01 bis 30 kV

0,5 bis 30 kV

Strahlstrom

1pA bis ≥ 500 nA

1pA bis 100 nA

Probenbühne

X, Y: 130 mm
Z: 39 mm
Kippung: -40 bis 93°
Rotation: unendlich (360°)

Detektorsystem

Hybrid-Everhart-Thornley-Detektor, oberer In-Lens-Detektor, In-Lens-Rückstreuelektronen-Detektor, opt. rückziehbarer Rückstreuelektronen-Detektoren, STEM-Detektoren, Überwachungs- und Navigationskameras und weitere

Bitte beachten Sie:

Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

Kontaktformular

Gerne beantworten wir kostenlos und unverbindlich Ihre Fragen und beraten Sie bei anstehenden Projekten.
Übermitteln Sie uns Ihre Anliegen mit dem nachfolgend aufgeführten Kontaktformular (* = Pflichtfeld).

Kontaktart(en) wählen*

Ihre Kontaktdaten*



Neuigkeiten von JEOL


Ihre Nachricht an JEOL

Weitergabe Ihrer Nutzerdaten an Dritte

Diese Seite verwendet Dienste, die personenbezogene Daten erheben, damit Funktionen für soziale Medien angeboten und Webseitenzugriffe analysiert werden können. Es handelt sich um Google Maps (zur Anzeige unseres Standorts) und Google Analytics (zur lokalen Webseitenanalyse). Diese Dienste führen die Daten ggf. mit weiteren Daten zusammen. Weitere Informationen zu den von uns verwendeten Diensten und zum Widerruf finden Sie in unseren Datenschutzbestimmungen.
Ihre Einwilligung dazu ist freiwillig, für die Nutzung der Webseite nicht notwendig und kann jederzeit mit Wirkung für die Zukunft widerrufen werden.
Sie können die Erhebung und Verarbeitung der folgenden, von dieser Webseite genutzten Dienste ablehnen oder sie akzeptieren.

Die Hinweise zum Datenschutz habe ich gelesen und verstanden. Ich bin mit der Übertragung und Speicherung meiner Daten im Rahmen der Datenschutzerklärung einverstanden. Ich weiß, ich habe das Recht, diese Einwilligung jederzeit ohne Angabe von Gründen zu widerrufen ohne dass die Rechtmäßigkeit, der aufgrund meiner Einwilligung bis zum Widerruf erfolgten Verarbeitung davon berührt wird.